LDSS-60系列扫描电子显微镜简介
LDSS-60 SEM Introduction
一、产品命名规则：
LDSS-60系列产品作为基础款台式扫描电镜，能满足大部分用户的基本实验需求，配置SE二次电子探测器与BSE背散射电子探测器，载物平台可配置三轴（X,Y,R）手动平台，也可升级为五轴（X,Y,R,Z,T）自动平台，全系列产品均可配置EDS能谱分析仪，产品包括如下配置：
| Item | Model | With Detector Option | With Stage Option |
| Mini-SEM | LDSS-60 | LDSS-60S | LDSS-60S-MS |
| LDSS-60D | LDSS-60D-MS | ||
| LDSS-60D-ST |
型号命名规则如下：
二、简单说明：(Description)
（1）最大放大倍率6万倍（Magnification Max 60,000x）
（2）采用二次电子和背散射电子双重探测器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）
（3）1kV~30kV加速电压选择，图像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）
（4）通过选配EDS可进行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）
（5）高真空配置（High Vacuum System）
（6）Tilt（0~45）载物台配置（可选择）（Tilt Stage configuration( optional)）
三、 技术参数：(Product specifications)
| 分辨率（Resolution） | 20nm (30kV, SE Image) |
| 25nm (30kV, BSE Image) | |
| 放大倍率（Magnification） | 30x~60,000x |
| 加速电压（Accelerating Voltage） | 1kV to 30kV (多档可选) |
| 图像检测 | 二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image |
| （Signal Detection） | 背散射电子图像 (BSEI)-Backscattered Electron Image |
| * Multi Detector (SEI+BSEI) | |
| 观察模式 Observation mode | 标准模式 |
| 电子枪系统（Electron Gun） | |
| 灯丝类型（Filament type） | 预对中钨灯丝 |
| 偏压系统（Bias voltage system） | 自动偏压方式（Automatic mode） |
| 电子枪校正 | 手动方式（Manual mode） |
| （Electron gun alignment） | |
| 透镜构成（Lens system） | |
| 聚光镜（Focus Lens） | 2段式磁线圈透镜 |
| (2-stage Electromagnetic Condenser Lens) | |
| 物镜（Objective Lens） | 1段式磁线圈透镜(1-stage Electromagnetic Objective Lens) |
| 探测器类型(Detector type) | SE Detector/ BSE Detector |
| 载物台系统( Stage System) | Auto or Mauanl |
| 载物台移动（Stage Traverse） | 3轴操控3 axis System， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360° |
| Image shift | Image shift X, Y Image Shift (±150um) |
| 样品最大尺寸 | 高度40mm时最大直径70mm，70mm in diameter, 40mm in height |
| （Max Sample size） | |
| 图像扫描 | 快速描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
| （Image Scanning system） | 低速描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.) |
| 图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 | |
| 图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 | |
| 图片模式3(Photo Mode 3): 5120x3840 | |
| 自动功能 | 自动启动(Auto start)，自动聚焦(Auto focus)，自动亮度对比度调节(Auto Brightness/Contrast) |
| （Automatic Function） | |
| 图像存储格式(Image format) | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
| 数据显示(Data display) | 放大倍率(Magnification)，探测器类型(Detector type)，电压(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)， |
| Date and time，Text marker，比例尺(scale bar) 等 | |
| 真空系统（Vacuum system） | 高真空模式 |
| （旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min | |
| （涡轮式分子泵） Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec | |
| 抽真空时间(pump down time)：3分钟以内 | |
| 操控系统(Control unit system) | 鼠标和键盘(Mouse ,Keyboard) |
| PC：台式电脑（Desk Top） | |
| 软件（Software function） | 图像文件打开，编辑，存储功能(Image file open, edit, Save function) |
| 长度，面积，角度等测量功能(Length, area, angle measuring) | |
| 设置数值初始化(parameter initialization)，图像拍摄模式转换(Image capture mode conversion)，Archives, Setting(EDS)模式等 | |
| 体积（ Volume） | 设备主机（Main Unit）-460(W)×600(D)× 600(H)mm……1set |
| 外置真空泵(External vacuum pump)-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set | |
| 重量 （Weight） | 99kg |
| 设备环境 | 温度(Temperature)：15℃~30℃ |
| （Equipment environment） | 湿度(Humidity)：70% or less |
| 电源(Power source)： Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz | |
四、样品检测结果
我们使用实验室废弃的一颗不良品螺丝作为样品进行了实际测试,图片如下:
螺丝，放大47倍， 30 kV，SE探测器，高真空模式
螺帽部分，放大100倍，10 kV，SE探测器，高真空模式
螺牙部分，放大100倍，10 kV，SE探测器，高真空模式
螺纹牙底部分，放大500倍，10 kV，SE探测器，高真空模式
螺纹牙顶部分，放大500倍，10 kV，SE探测器，高真空模式
螺纹牙顶部分放大，1000倍，10 kV，SE探测器，高真空模式
其它测试图片：
陶瓷表面，放大5千倍，30 kV，SE探测器 电池正极材料，1万倍， 5 kV，SE探测器
浮游植物，放大8千倍，5 kV，SE探测器 珍珠粉，放大1千倍，5 kV，SE探测器
五、附件包（Accessories package）：
| 预对中钨灯丝 | 5 pcs/box |
| Pre Centered tungsten filament | |
| 载物台（Sample Stage） | 15mm dia. (10 pcs) |
| 25mm dia. (10 pcs) | |
| 15mm 45° Tilt (5 pcs) | |
| 15mm 90° Tilt (5pcs) | |
| 高度基准模块(Height standard master) | 1ea |
| 6角扳手(allen wrench) | 1set |
| 扫描电镜软件修复用CD | 1ea |
| (SEM Software CD) | |
| 碳导电胶带(Carbon conductive tape) | 1roll |
| 剪刀(scissors) | 1ea |
| 洗耳球(aurilave) | 1ea |
| 镊子(tweezers) | 1ea |
| 工具箱(Tools Box) | 1ea |