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LDSS-60系列扫描电子显微镜

LDSS-60系列产品作为基础款台式扫描电镜,能满足大部分用户的基本实验需求,配置SE二次电子探测器与BSE背散射电子探测器,载物平台可配置三轴(X,Y,R)手动平台,也可升级为五轴(X,Y,R,Z,T)自动平台,全系列产品均可配置EDS能谱分析仪

详情介绍

LDSS-60系列扫描电子显微镜简介

LDSS-60 SEM Introduction

一、产品命名规则:

LDSS-60系列产品作为基础款台式扫描电镜,能满足大部分用户的基本实验需求,配置SE二次电子探测器与BSE背散射电子探测器,载物平台可配置三轴(X,Y,R)手动平台,也可升级为五轴(X,Y,R,Z,T)自动平台,全系列产品均可配置EDS能谱分析仪,产品包括如下配置:

Item Model With Detector Option With Stage Option
Mini-SEM LDSS-60 LDSS-60S LDSS-60S-MS
LDSS-60D LDSS-60D-MS
LDSS-60D-ST

型号命名规则如下:

二、简单说明:(Description)

(1)最大放大倍率6万倍(Magnification Max 60,000x)

(2)采用二次电子和背散射电子双重探测器(Signal Detection: SE Detector+BSE  Detector)

(3)1kV~30kV加速电压选择,图像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30kV,High   image resolution)

(4)通过选配EDS可进行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis)

(5)高真空配置(High Vacuum System)

(6)Tilt(0~45)载物台配置(可选择)(Tilt Stage configuration( optional))

三、 技术参数:(Product specifications)

分辨率(Resolution 20nm (30kV, SE Image)
25nm (30kV, BSE Image)
放大倍率(Magnification 30x~60,000x 
加速电压(Accelerating Voltage 1kV to 30kV (多档可选)
图像检测 二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image
Signal Detection 背散射电子图像  (BSEI)-Backscattered Electron Image
  * Multi Detector (SEI+BSEI)
观察模式 Observation mode 标准模式
电子枪系统(Electron Gun
灯丝类型(Filament type 预对中钨灯丝
偏压系统(Bias voltage system 自动偏压方式(Automatic mode
电子枪校正 手动方式(Manual mode
Electron gun alignment
透镜构成(Lens system)
聚光镜(Focus Lens) 2段式磁线圈透镜
 (2-stage Electromagnetic Condenser Lens)
物镜(Objective Lens) 1段式磁线圈透镜(1-stage Electromagnetic Objective Lens)
探测器类型(Detector type) SE Detector/ BSE Detector
载物台系统( Stage System)  Auto or Mauanl
载物台移动(Stage Traverse 3轴操控3 axis System, X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°
Image shift Image shift X, Y Image Shift (±150um)
样品最大尺寸 高度40mm时最大直径70mm,70mm in diameter, 40mm in height
(Max Sample size)
图像扫描 快速描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
(Image Scanning system) 低速描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)
  图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960
  图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920
  图片模式3(Photo Mode 3): 5120x3840
自动功能 自动启动(Auto start),自动聚焦(Auto focus),自动亮度对比度调节(Auto Brightness/Contrast)
(Automatic Function)
图像存储格式(Image format) BMP, JPEG, PNG,TIFF
数据显示(Data display) 放大倍率(Magnification),探测器类型(Detector type),电压(Accelerating Voltage),真空模式(Vacuum mode),Logo(Text),
Date and time,Text marker,比例尺(scale bar) 等
真空系统(Vacuum system 高真空模式
(旋转式机械泵)Rotary Pump/100Liters/min
(涡轮式分子泵)  Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec
 抽真空时间(pump down time):3分钟以内
操控系统(Control unit system)  鼠标和键盘(Mouse ,Keyboard)
  PC:台式电脑(Desk Top)       
软件(Software function  图像文件打开,编辑,存储功能(Image file open, edit, Save function)
 长度,面积,角度等测量功能(Length, area, angle measuring)
设置数值初始化(parameter initialization),图像拍摄模式转换(Image capture mode conversion),Archives, Setting(EDS)模式等
体积( Volume 设备主机(Main Unit)-460(W)×600(D)× 600(H)mm……1set
外置真空泵(External vacuum pump)-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set
重量 (Weight)  99kg
设备环境  温度(Temperature):15℃~30℃
Equipment environment  湿度(Humidity):70% or less
   电源(Power source):   Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz

四、样品检测结果

    我们使用实验室废弃的一颗不良品螺丝作为样品进行了实际测试,图片如下:

螺丝,放大47倍, 30 kV,SE探测器,高真空模式

螺帽部分,放大100倍,10 kV,SE探测器,高真空模式

螺牙部分,放大100倍,10 kV,SE探测器,高真空模式

螺纹牙底部分,放大500倍,10 kV,SE探测器,高真空模式

螺纹牙顶部分,放大500倍,10 kV,SE探测器,高真空模式

螺纹牙顶部分放大,1000倍,10 kV,SE探测器,高真空模式

其它测试图片:

  

陶瓷表面,放大5千倍,30 kV,SE探测器                                    电池正极材料,1万倍, 5 kV,SE探测器

  

浮游植物,放大8千倍,5 kV,SE探测器                                             珍珠粉,放大1千倍,5 kV,SE探测器

五、附件包(Accessories package):

 预对中钨灯丝  5 pcs/box
 Pre Centered tungsten filament
载物台(Sample Stage)  15mm dia. (10 pcs)
 25mm dia. (10 pcs)
 15mm 45° Tilt (5 pcs)
 15mm 90° Tilt (5pcs)
 高度基准模块(Height standard  master)  1ea
6角扳手(allen wrench)  1set
 扫描电镜软件修复用CD  1ea
 (SEM Software CD)
 碳导电胶带(Carbon conductive  tape)  1roll
剪刀(scissors)  1ea
洗耳球(aurilave)  1ea
镊子(tweezers)  1ea
工具箱(Tools Box)  1ea

 

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